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风指的是气流循环,即芯片生产的无尘间,水自然是指超纯水,传说中的台鸡电每天用100多辆卡车运水就是因为自来水管道流出的水质量不够高,达不到要求。
听到这里路阳已经感觉到太苛刻了,王顺和似乎来了兴致,继续说道:
“各位,对于芯片来说,水中的一切化学物质都是剧毒,比如硅会导致硅片缺陷、硼会导致硅片掺杂,氯会影响化学沉积,各种金属离子会改变晶体管的电特性。”
“所以我们需要的超纯水系统,还必须配备多种水质分析仪,对水中的微量成分进行实施监测。”
王顺和指着眼前的设备给众人介绍道,“这台便是水质分析仪,价格相当于一台宝马x5。”
路阳看着眼前这台设备,吐槽道,“特么原来就是你们在吞金是吧。”
“大家都知道水是导电的,水杂质越少,电阻率就越高,海水电阻率约20欧姆厘米,自来水电阻率约200欧姆厘米,医用无菌注射水电阻率高于770千欧厘米,而我们半导体级的电阻率需要大于18.18兆欧姆厘米,可以说是完全的绝缘体。”
“电阻率之外最重要的参数就是总有机物中的碳含量,简称toc,它是水中各种有机物的总和,也是超纯水中残留最多的杂质成分,相对含量超过杂质的90%。”
“toc偏高会造成各种麻烦,比如硅片氧化时会导致成膜质量低下,浸没式光刻时造成镜头雾化,在高温制程中会产生碳化颗粒物等等。”
海思众人听得滋滋有味,王顺和接着又介绍了toc的实时监测,通常是先用紫外线照射水样,使含碳有机物分解,产生二氧化碳,导致水中电导率变化,以此计算出toc含量,超纯水的toc含量要小于10亿分之一。
“特么!芯片的洗澡水都如此复杂,更别提其他了。”
路阳再次暗骂,难怪监测设备这么贵,10亿分之一量级的监测,其技术含量只能说让人叹为观止。
“各位,超纯水虽然干净,但却不能饮用,一旦你喝了半导体级的超纯水,它可以把你榨干,会将人体内的微量元素与其他的矿物质全都吸干,长期饮用会造成体内严重的电解质失衡。”
路阳玩笑道:“懂了,超纯水只能用来洗澡。”
众人大笑,何洪年摇摇头,“感谢王总给我们介绍啊,这还没深入,就已经如此复杂了,看再多的资料也不如到现场亲自感受。”
路阳接着说道:“一直听人说起芯片的玄学,今天才了解到真的与风水有关,我在想流片的时候要不要拜拜!”
王顺和做了个里面请的手势,“各位,由于超净间的无尘要求,每次只能进3人,路总跟何总先进去?”
路阳抱着副本开荒的态度,换好衣服,在王顺和带带领下,与何洪年一起来到超净间。
走到光刻机旁,路阳不由自主的摸了下光刻机,像是触摸女人的果体般,颅内兴奋起来。